? 鉭靶材?是一種由高純度鉭金屬或鉭合金制成的材料，主要用于各種薄膜沉積工藝中。鉭靶材以其出色的耐腐蝕性、高熔點和生物相容性而聞名，廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、防腐蝕涂層和醫(yī)療設(shè)備等多個高科技領(lǐng)域?。
物理和化學(xué)性質(zhì)
鉭靶材的主要物理性質(zhì)包括：
?熔點?：3290K（3017°C）
?沸點?：5731K（5458°C）
?密度?：16.68g/cm3
?硬度?：高硬度，具有延展性和抗腐蝕性
?化學(xué)穩(wěn)定性?：鉭不會與王水反應(yīng)，適用于制造化工器材和醫(yī)療器具?
制備方法
鉭靶材的制備方法通常包括以下步驟：
?1、粉末冶金?：采用鈉熱還原法生產(chǎn)鉭粉，粒徑為2-3微米。
2、 ?冷等靜壓成型?：將鉭粉在乳膠包套中進行冷等靜壓成型，壓力大于200MPa，保壓時間大于20min。
? 3、燒結(jié)?：在真空度大于1*10^-2MPa、溫度大于2400°C的條件下進行燒結(jié)，保溫時間大于1.5h。
? 4、軋制和熱處理?：將燒結(jié)得到的鉭坯進行軋制和熱處理，而得到鉭靶材?。
應(yīng)用領(lǐng)域
鉭靶材的應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛，主要包括：
? 1、電子和半導(dǎo)體行業(yè)?：用于集成電路制造中的阻擋層材料，特別是在銅互連技術(shù)中，鉭的高熔點和低電阻使其成為理想的選擇?。
? 2、防腐蝕涂層?：由于鉭的優(yōu)異耐腐蝕性，它被用于涂覆化工設(shè)備和暴露在極端環(huán)境中的金屬表面，延長設(shè)備的使用壽命?。
? 3、光學(xué)和光電子薄膜?：鉭靶材可用于制造具有特定光學(xué)特性的薄膜，廣泛用于光學(xué)設(shè)備、顯示器和傳感器?。
? 4、醫(yī)療設(shè)備?：鉭具有良好的生物相容性，適用于涂覆醫(yī)療植入物，如骨板和關(guān)節(jié)假體，減少人體排斥反應(yīng)?。
